在微電子行業中，為了準確控制各類制造、檢測類設備的溫度，液冷技術發揮著至關重要的作用。例如，在半導體晶圓制造過程中，晶圓夾具須配備液冷系統，用以帶走由高能離子轟擊時產生的熱量，并控制晶圓溫度。否則，晶圓就有可能因溫度太高而造成光刻膠的網狀組織化。

由此可見，液冷系統不僅關乎設備的安 全運行和使用壽命，還關乎zui終產品的良率與性能。在整個液冷系統的組件中，選用合適的管路及接頭非常關鍵。作為流體傳動行業“無泄漏”的先行者，Parker派克漢尼汾可為微電子行業的液冷系統提供多種高品質流體連接解決方案，滿足不同設備的冷que需求。

NSS 快換接頭

采用平齊端面閥芯，斷開無溢流；大流量通流能力，提供優異的流量-壓降特性，冷que性能穩定、能耗低；采用對齊導向即插連接和套筒反推斷開設計，操作方便、不會意外斷開；不銹鋼材質，多種密封材質和油口選項可選。

O-LOK 不銹鋼接頭

采用端面 O 形圈軟密封，該密封圈嵌在Parker派克特you的O形圈鍥形槽內，密封性能更加穩定可靠。這不僅進一步提升裝配安 全性，還能更好實現無泄漏連接，優化安裝和維護成本。由于連接及密封性能高度可靠，它能進一步減少微電子行業冷que系統管路的重復安裝，降低維護成本。

PTFE 軟管

PTFE系列軟管中的979BXT、929Bj、919B和 NCW/NCB 軟管可用于液冷管路，采用PTFE芯管，是因為其具有良好的介質兼容性；靈活 性好；抗扭結和耐真空；無RFI問題。

801軟管

801軟管是針對冷que應用而設計研發的多用途軟管產品，可與多種水基冷que介質兼容；與旗下的82系列Push-Lok接頭匹配，無需扣壓和抱箍、易于安裝，節省安裝時間和成本；6種顏色可選，便于識別；801軟管采用本地化生產，交期快，供應安 全。

目前，Parker派克漢尼汾旗下的高品質流體連接解決方案已在微電子行業得到成功應用，性能表現深受客戶認可。

01

國內某半導體薄膜設備廠商為其潔凈室的去離子水冷que系統選用NSS快換接頭，與位于室外的循環過濾系統建立快速連接。

在這個應用中，由于冷que系統位于潔凈室，快換接頭在實現快速連接的同時，還要符合潔凈室生產要求。NSS快換接頭材質與去離子水兼容，耐腐蝕。

接頭斷開時端面基本無介質殘留，可減少污染物產生，符合潔凈室生產要求；

連接夾氣量少，能降低冷que系統的氣泡；

插拔便捷，作業效率高。

此外，還可進一步優化冷que管路壓降，提升系統能效。

02

在與另一家國跡有名的半導體設備生產商的合作中，Parker派克漢尼汾攜手國內分銷伙伴，為該行業客戶用于信號發射和芯片傳輸檢測設備的水冷系統提供管路系統解決方案。

憑借更為可靠的密封性能，O-LOK不銹鋼接頭為該系統提供無泄漏連接。同時，在分銷伙伴的大力支持下，產品交期準時有保障，滿足客戶貨期要求，解除客戶后顧之憂。

此外，Parker派克漢尼汾還可提供Legris 接頭和氣管、Rectus不銹鋼快換接頭和PS系列旋轉接頭等產品供客戶選擇。